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半導體石墨模具的制造工藝

作者:jcshimo 發(fā)布時間:2024-03-28 13:48:34

半導體石墨模具的制造工藝
    制造半導體石墨模具通常選用化學氣相堆積(CVD)法。此辦法是在高溫下,經(jīng)過特定氣體在石墨基底上堆積出石墨層,然后進行切割和研磨,最終得到所需的石墨模具。此外,熱解法制備石墨模具也是一種常見的辦法,它經(jīng)過熱解有機前驅體,得到石墨材料,然后進行后續(xù)的加工處理。

石墨模具